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更新时间:2025-08-18
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产品名称:VPS-RF10石真空等离子处理仪
VPS-RF10石真空等离子处理仪参数:
型号 | VPS-MF20 |
功率 | 0-300W可调 |
频率 | 13.56MHz |
腔体材质 | 316 镜面不锈钢 |
腔体尺寸 | 380(L)*380(D)*165(H)mm |
腔体容积 | 23L |
适用产品尺寸 | 310*310mm |
极限真空度 | 1Pa |
控制方式 | PLC+4.3寸触摸屏 |
气路数量 | 两路,氧气、氢气等(腐蚀性气体需定制) |
外形尺寸 | 640mm(L)×580mm(W) ×630 mm(H) |
深圳深光达科技有限公司深耕等离子技术域十余载,表面处理解决方案服务商。公司自主研发的真空、大气常压及微波等离子清洗设备,精准清洗与活化,设备连续运行稳定性达99.6%以上,通过ISO 9001/14001双体系认证。其低温真空等离子去胶机**在半导体封装环节实现每小时300片晶圆的量产处理,刻蚀均匀性误差<3%,助力客户良品率提升20%+。针对汽车内饰、医疗导管等复杂曲面,**常压旋转喷枪系统**可完成360°处理,表面张力值稳定提升至72mN/m以上。