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VPS-RF10石真空等离子处理仪
产品简介:

VPS-RF10石真空等离子处理仪是一款针对实验室需要专门开发的小型台式等离子清洗机,处理室为圆筒形石英玻璃,处理器为电容耦合外电极型,内部无电极。

产品型号:

更新时间:2025-08-18

厂商性质:生产厂家

访 问 量 :143

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产品介绍

产品名称:VPS-RF10石真空等离子处理仪       

 

VPS-RF10石真空等离子处理仪


VPS-RF10石真空等离子处理仪参数: 

型号

VPS-MF20

功率

0-300W可调

频率

13.56MHz

腔体材质

316 镜面不锈钢

腔体尺寸

380(L)*380(D)*165(H)mm

腔体容积

23L

适用产品尺寸

310*310mm

极限真空度

1Pa

控制方式

PLC+4.3寸触摸屏

气路数量

两路,氧气、氢气等(腐蚀性气体需定制)

外形尺寸

640mm(L)×580mm(W) ×630 mm(H)



深圳深光达科技有限公司深耕等离子技术域十余载,表面处理解决方案服务商。公司自主研发的真空、大气常压及微波等离子清洗设备,精准清洗与活化,设备连续运行稳定性达99.6%以上,通过ISO 9001/14001双体系认证。其低温真空等离子去胶机**在半导体封装环节实现每小时300片晶圆的量产处理,刻蚀均匀性误差<3%,助力客户良品率提升20%+。针对汽车内饰、医疗导管等复杂曲面,**常压旋转喷枪系统**可完成360°处理,表面张力值稳定提升至72mN/m以上。

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