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VPS-QZ05石英真空等离子处理仪
产品简介:

VPS-QZ05石英真空等离子处理仪是一款针对实验室需要专门开发的小型台式等离子清洗机,处理室为圆筒形石英玻璃,处理器为电容耦合外电极型,内部无电极。

产品型号:

更新时间:2025-08-18

厂商性质:生产厂家

访 问 量 :183

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产品介绍

产品简介

      VPS-QZ05石英真空等离子处理仪是一款针对实验室需要专门开发的小型台式等离子清洗机,处理室为圆筒形石英玻璃,处理器为电容耦合外电极型,内部无电极。即放电能量从处理器外部施加,可以避免电极的腐蚀和反应物在极板沉积的问题。


VPS-QZ05石英真空等离子处理仪应用:PDMS键合、引入特定官能团、等离子灰化、表面亲疏水改性、提高粘接性

VPS-QZ05石英真空等离子处理仪特点处理过程中不会引入污染物、操作简单、适合于研究院、高校、研发中心使用


VPS-QZ05石英真空等离子处理仪


产品参数

型号

VPS-QZ05

频率

13. 56 MHz

功率

0-200W连续可调

腔体材质

优质石英

腔体容积

5L

腔体尺寸

Φ150×290(D)mm

气体流量控制器

MFC 质量流量控制器

气路数量

2 路气体,常用O2、Ar2、N2,H2、等(腐蚀性气体需定制)

真空测定系统

皮拉尼真空硅管

极限真空度

1Pa

控制方式

PLC+4.3寸触摸屏

真空泵

油泵/干泵(选配)

电源供应

AC220V/50Hz

外形尺寸

550mm(L)×450mm(W) ×500 mm(H)



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