VPS-QZ05石英真空等离子处理仪是一款针对实验室需要专门开发的小型台式等离子清洗机，处理室为圆筒形石英玻璃，处理器为电容耦合外电极型，内部无电极。

PS-RF10 小型科研型射频真空等离子清洗机是一款针对实验室需要专门开发的小型台式等离子清洗机，处理室为圆筒形石英玻璃，处理器为电容耦合外电极型，内部无电极。

VPS-RF05 小型桌面型真空等离子处理仪是一款针对实验室需要专门开发的小型台式等离子清洗机，处理室为圆筒形石英玻璃，处理器为电容耦合外电极型，内部无电极。

VPS-MF05R 旋转型真空等离子处理仪是一款针对实验室需要专门开发的小型台式等离子清洗机，处理室为圆筒形石英玻璃，处理器为电容耦合外电极型，内部无电极。

VPS-RF05是一款小型实验科研型真空等离子清洗机，其原理是在真空状态下（约10~100pa），给气体施加电场，气体在电场提供的能量下会由气态转变为等离子体状态（也称物质的“第四态”），其中含有大量的电子、离子、光子和各类自由基等活性粒子，比通常的化学反应所产生的活性粒子种类更多、活性更强，更易于和所接触的材料表面发生反应。