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VPS-RF40 中小型真空等离子清洗机
产品简介:

VPS-RF40 中小型真空等离子清洗机是一款针对实验室需要专门开发的小型台式等离子清洗机,处理室为圆筒形石英玻璃,处理器为电容耦合外电极型,内部无电极。

产品型号:

更新时间:2025-08-18

厂商性质:生产厂家

访 问 量 :121

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产品介绍

VPS-RF40 中小型真空等离子清洗机简介:VPS-RF40是一款中小型真空等离子清洗机,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产打样。设备采用品牌高性能旋片真空泵,同时根据客户工艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体。进口高品质等离子发生器,产生等离子体,并确保稳定产生高密度,高能量的离子。等离子体能与材料发生复杂的物理,化学反应,可以实现不同的工艺功能,比如清洗,活化,刻蚀与涂覆等。


   

VPS-RF40 中小型真空等离子清洗机


VPS-RF40 中小型真空等离子清洗机特点:

(1)等离子清洗机清洗效率高,应用范围广;

(2)对清洗样品,没有任何外观尺寸、材质等要求;

(3)在清洗过程中,温升比较小,基本可达到常温处理;

(4)射频功率可无极连续可调,高效的特制电极是产生均匀等离子体的保证;

(5)过载、过热和短路保护电路,可保证射频电源的稳定和安全;

(6)设备采用模块化设计,安装与维护都极为简单。
 

产品应用:去除表面有机物、提高粘接性、提高表面润湿性、提高生物相容性、提高表面能、改善表面粗糙度


产品参数:

型号

VPS-RF40

等离子频率

13.56MHz自动阻抗匹配

腔体材质

进口级316L不锈钢/航空铝合金(可选)

真空泵

油泵/干泵(可选)

极限真空

5Pa

功率

0-300W(连续可调)

腔体尺寸

350(L)*400(D)*300(H)mm

腔体容积

40L

腔体有效处理面积

300(L)×310(D)mm

气路数量

2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气等(腐蚀性气体需定制)

极板间距

35mm(根据产品尺寸可调)

处理层数

4层

控制方式

PLC+触摸屏

电源

AC220V/50Hz

外形尺寸

680mm(L) X 800m (w) X1500mm (H)


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